1. Definisi Sistem Gas Curah:
Panyimpenan lan kontrol tekanan gas inert Jinis gas: Gas inert khas (nitrogen, argon, udara tekan, lan liya-liyane)
Ukuran pipa: Saka 1/4 (pipa pemantauan) nganti pipa utama 12 inci
Produk utama saka sistem iki yaiku: katup diafragma/katup bellow/katup bal, konektor kemurnian dhuwur (VCR, bentuk las), konektor ferrule, katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, lan liya-liyane.
Saiki, sistem anyar iki uga kalebu sistem gas khusus massal, sing nggunakake tabung gas tetep utawa truk tangki kanggo panyimpenan lan transportasi.
2. Definisi Sistem Pemurnian:
Ngilangake rereged saka gas curah kanggo pipa gas kemurnian dhuwur
3. Definisi Lemari Gas:
Nyedhiyakake kontrol tekanan lan pemantauan aliran kanggo sumber gas khusus (gas beracun, gampang kobong, reaktif, korosif), lan duwe kemampuan kanggo ngganti tabung gas.
Lokasi: Dumunung ing lantai Sub-fab utawa lantai ngisor kanggo panyimpenan gas khusus Sumber: NF3, SF6, WF6, lsp.
Ukuran pipa: Pipa gas internal, umume 1/4 inci kanggo pipa proses, 1/4-3/8 inci utamane kanggo pipa pembersih nitrogen kemurnian tinggi.
Produk utama: Katup diafragma kemurnian tinggi, katup periksa, alat pengukur tekanan, alat pengukur tekanan, konektor kemurnian tinggi (VCR, bentuk pengelasan) Lemari gas iki umume ngemot kemampuan switching otomatis kanggo silinder kanggo njamin pasokan gas sing terus-terusan lan panggantos silinder sing aman.
4. Definisi Distribusi:
Nyambungake sumber gas menyang koil pengumpul gas
Ukuran saluran: Ing pabrik chip, ukuran pipa distribusi gas massal umume antara 1/2 inci nganti 2 inci.
Wangun sambungan: Pipa gas khusus umume disambungake kanthi ngelas, tanpa sambungan mekanik utawa bagean obah liyane, utamane amarga sambungan las nduweni keandalan penyegelan sing kuwat.
Ing pabrik chip, ana atusan kilometer pipa sing disambungake kanggo ngirim gas, sing dawane udakara 20 kaki lan dilas dadi siji. Sawetara tikungan pipa lan sambungan las tubular uga umum banget.
5. Kothak katup multi-fungsi (Kothak Manifold Katup, VMB) Definisi:
Iku kanggo nyebarake gas khusus saka sumber gas menyang macem-macem ujung peralatan.
Ukuran pipa internal: pipa proses 1/4 inci, lan pipa purge 1/4 - 3/8 inci. Sistem iki bisa uga nggunakake kontrol komputer kanggo mbutuhake katup sing diaktifake utawa kahanan biaya sing luwih murah nganggo katup manual.
Produk sistem: katup diafragma/katup bellow kemurnian tinggi, katup cek, sambungan kemurnian tinggi (VCR, bentuk pengelasan mikro), katup pengatur tekanan, pengukur tekanan lan pengukur tekanan, lan liya-liyane. Kanggo distribusi sawetara gas inert, Panel Manifold Katup - VMP (cakram katup multi-fungsi) utamane digunakake, sing duwe permukaan cakram gas terbuka lan ora mbutuhake desain ruang tertutup lan pembersihan nitrogen tambahan.
6. Pelat/kothak katup sekunder (Panel Penghubung Piranti) Definisi:
Sambungake gas sing dibutuhake dening peralatan semikonduktor saka sumber gas menyang ujung peralatan lan wenehake pengaturan tekanan sing cocog. Panel iki minangka sistem kontrol gas sing luwih cedhak karo ujung peralatan tinimbang VMB (kotak katup multi-fungsi).
Ukuran pipa gas: 1/4 - 3/8 inci
Ukuran pipa cairan: 1/2 - 1 inci
Ukuran pipa pembuangan: 1/2 - 1 inci
Produk utama: katup diafragma/katup bellow, katup siji arah, katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, pengukur tekanan, sambungan kemurnian tinggi (VCR, pengelasan mikro), sambungan ferrule, katup bola, selang, lsp.
Wektu kiriman: 22 Nov-2024