1. Definisi Sistem Gas Bulk:
Panyimpenan lan kontrol tekanan gas inert Jenis gas: Gas inert khas (nitrogen, argon, udara tekan, lsp.)
Ukuran pipa: Saka 1/4 (pipa ngawasi) nganti pipa utama 12 inci
Produk utama sistem yaiku: katup diafragma / katup bellow / katup bal, konektor kemurnian dhuwur (VCR, bentuk las), konektor ferrule, katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, lsp.
Saiki, sistem anyar uga kalebu sistem gas khusus akeh, sing nggunakake silinder gas tetep utawa truk tank kanggo panyimpenan lan transportasi.
2. Definisi Sistem Pemurnian:
Ngilangi impurities saka gas akeh kanggo pipa gas kemurnian dhuwur
3. Definisi Kabinet Gas:
Nyedhiyakake kontrol tekanan lan ngawasi aliran kanggo sumber gas khusus (beracun, gampang kobong, reaktif, gas korosif), lan duwe kemampuan kanggo ngganti silinder gas.
Lokasi: Dumunung ing lantai Sub-fab utawa lantai ngisor kanggo panyimpenan gas khusus Sumber: NF3, SF6, WF6, lsp.
Ukuran pipa: Pipa gas internal, umume 1/4 inci kanggo pipa proses, 1 / 4-3 / 8 inci utamane kanggo pipa purge nitrogen kemurnian dhuwur.
Produk utama: katup diafragma kemurnian dhuwur, katup mriksa, pengukur tekanan, pengukur tekanan, konektor kemurnian dhuwur (VCR, wangun welding) Kabinet gas iki dhasare ngemot kemampuan ngoper otomatis kanggo silinder kanggo njamin pasokan gas terus-terusan lan panggantos silinder sing aman.
4. Definisi Distribusi:
Nyambungake sumber gas menyang coil koleksi gas
Ukuran garis: Ing pabrik chip, ukuran pipa distribusi gas akeh umume saka 1/2 inci nganti 2 inci.
Wangun sambungan: Pipa gas khusus umume disambungake kanthi welding, tanpa sambungan mekanik utawa bagean obah liyane, utamane amarga sambungan welding duwe linuwih sealing sing kuat.
Ing pabrik chip, ana atusan kilometer pipa sing disambungake kanggo ngirim gas, sing dawane kira-kira 20 kaki lan dilas bebarengan. Sawetara bend tubing lan sambungan welding tubular uga umum banget.
5. Kotak katup multi-fungsi (Valve Manifold Box, VMB) Definisi:
Iki kanggo nyebarake gas khusus saka sumber gas menyang peralatan sing beda.
Ukuran pipa internal: pipa proses 1/4 inci, lan pipa purge 1/4 - 3/8 inci. Sistem kasebut bisa nggunakake kontrol komputer kanggo mbutuhake katup sing digerakake utawa kahanan sing murah kanthi katup manual.
Produk sistem: katup diafragma kemurnian dhuwur / katup bellow, katup mriksa, sambungan kemurnian dhuwur (VCR, wangun micro-welding), katup pengatur tekanan, pengukur tekanan lan pengukur tekanan, lsp. Kanggo distribusi sawetara gas inert, Panel Manifold Katup - VMP (cakram katup multi-fungsi) utamané dipigunakaké, sing nduweni permukaan disk gas sing mbukak lan ora mbutuhake desain ruang tertutup lan purge nitrogen tambahan.
6. Piring/kotak katup sekunder (Panel Hookup Alat) Definisi:
Sambungake gas sing dibutuhake dening peralatan semikonduktor saka sumber gas menyang ujung peralatan lan nyedhiyakake regulasi tekanan sing cocog. Panel iki minangka sistem kontrol gas sing luwih cedhak karo ujung peralatan tinimbang VMB (kotak katup multi-fungsi).
Ukuran pipa gas: 1/4 - 3/8 inch
Ukuran pipa cair: 1/2 - 1 inci
Ukuran pipa discharge: 1/2 - 1 inch
Produk utama: katup diafragma / katup bellow, katup siji arah, katup pengatur tekanan, pengukur tekanan, pengukur tekanan, sambungan kemurnian tinggi (VCR, micro-welding), sambungan ferrule, katup bola, selang, lsp.
Wektu kirim: Nov-22-2024