909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory minangka proyek konstruksi utama industri elektronik negaraku sajrone Rencana Lima Taun Kesembilan kanggo ngasilake chip kanthi jembar garis 0,18 mikron lan diameter 200 mm.
Teknologi manufaktur sirkuit terpadu skala gedhe ora mung nyakup teknologi tliti dhuwur kayata mesin mikro, nanging uga nyedhiyakake syarat dhuwur kanggo kemurnian gas.
Pasokan gas akeh kanggo Project 909 diwenehake dening usaha patungan antarane Praxair Utility Gas Co., Ltd. saka Amerika Serikat lan pihak sing relevan ing Shanghai kanggo bebarengan nggawe pabrik produksi gas. Pabrik produksi gas ana ing jejere pabrik proyek 909. bangunan, sing ambane kurang luwih 15.000 meter persegi. Kemurnian lan syarat output saka macem-macem gas
Nitrogen kemurnian dhuwur (PN2), nitrogen (N2), lan oksigen kemurnian dhuwur (PO2) diprodhuksi dening pamisahan udara. Hidrogen kemurnian dhuwur (PH2) diprodhuksi dening elektrolisis. Argon (Ar) lan helium (He) dituku saka outsourcing. Kuasi-gas diresiki lan disaring kanggo digunakake ing Proyek 909. Gas khusus diwenehake ing botol, lan kabinet botol gas dumunung ing bengkel tambahan pabrik produksi sirkuit terpadu.
Gas liyane uga kalebu sistem CDA udara kompres garing sing resik, kanthi volume panggunaan 4185m3 / jam, titik embun tekanan -70 ° C, lan ukuran partikel ora luwih saka 0.01um ing gas ing titik panggunaan. Sistem udara tekan ambegan (BA), volume panggunaan 90m3 / jam, titik embun tekanan 2 ℃, ukuran partikel ing gas ing titik panggunaan ora luwih saka 0.3um, sistem vakum proses (PV), volume panggunaan 582m3 / jam, gelar vakum ing titik panggunaan -79993Pa. Sistem vakum reresik (HV), volume panggunaan 1440m3 / h, gelar vakum ing titik panggunaan -59995 Pa. Kamar kompresor udara lan ruangan pompa vakum loro-lorone ana ing area pabrik proyek 909.
Pemilihan bahan pipa lan aksesoris
Gas sing digunakake ing produksi VLSI nduweni syarat kebersihan sing dhuwur banget.Pipa gas kemurnian dhuwurbiasane digunakake ing lingkungan produksi sing resik, lan kontrol kebersihan kudu konsisten utawa luwih dhuwur tinimbang tingkat kebersihan papan sing digunakake! Kajaba iku, pipa gas kemurnian dhuwur asring digunakake ing lingkungan produksi sing resik. Hidrogen murni (PH2), oksigen kemurnian dhuwur (PO2) lan sawetara gas khusus yaiku gas sing gampang kobong, mbledhos, ndhukung pembakaran utawa beracun. Yen sistem pipa gas ora dirancang kanthi bener utawa bahan sing dipilih kanthi ora bener, ora mung kemurnian gas sing digunakake ing titik gas bakal mudhun, nanging uga bakal gagal. Iku meets syarat proses, nanging ora aman kanggo nggunakake lan bakal nimbulaké polusi kanggo pabrik resik, mengaruhi safety lan karesikan saka pabrik resik.
Jaminan kualitas gas kemurnian dhuwur ing titik panggunaan ora mung gumantung ing akurasi produksi gas, peralatan pemurnian lan saringan, nanging uga kena pengaruh akeh faktor ing sistem pipa. Yen kita gumantung ing peralatan produksi gas, peralatan dimurnèkaké lan saringan Iku mung ora bener kanggo nemtokke syarat presisi tanpa wates sing luwih dhuwur kanggo ijol kanggo desain sistem pipa gas ora bener utawa pilihan materi.
Sajrone proses desain proyek 909, kita ngetutake "Kode Desain Tanduran Resik" GBJ73-84 (standar saiki yaiku (GB50073-2001)), "Kode Desain Stasiun Udara Terkompresi" GBJ29-90, "Kode kanggo Desain Stasiun Oksigen" GB50030-91 , "Kode Desain Stasiun Hidrogen lan Oksigen" GB50177-93, lan langkah teknis sing cocog kanggo milih bahan lan aksesoris pipa. "Kode Desain Tanduran Resik" nemtokake pilihan bahan pipa lan katup kaya ing ngisor iki:
(1) Yen kemurnian gas luwih saka utawa padha karo 99,999% lan titik ebun luwih murah tinimbang -76 ° C, pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok njero electropolish utawa pipa stainless steel OCr18Ni9 (304) tembok njero electropolished kudu digunakake. Katup kasebut kudu dadi katup diafragma utawa katup bellow.
(2) Yen kemurnian gas luwih saka utawa witjaksono kanggo 99,99% lan titik ebun luwih murah tinimbang -60 ° C, OCr18Ni9 tabung stainless steel (304) karo electropolished tembok njero kudu digunakake. Kajaba kanggo katup bellow sing kudu digunakake kanggo pipa gas sing gampang kobong, katup bal kudu digunakake kanggo pipa gas liyane.
(3) Yen titik ebun hawa kompres garing luwih murah tinimbang -70 ° C, pipa stainless steel OCr18Ni9 (304) kanthi tembok njero polesan kudu digunakake. Yen titik ebun luwih murah tinimbang -40 ℃, pipa baja tahan karat OCr18Ni9 (304) utawa pipa baja mulus galvanis panas kudu digunakake. Katup kasebut kudu dadi katup bellow utawa katup bal.
(4) Bahan tutup kudu kompatibel karo bahan pipa sing nyambungake.
Miturut syarat spesifikasi lan langkah-langkah teknis sing relevan, kita utamane nimbang aspek ing ngisor iki nalika milih bahan pipa:
(1) Permeabilitas udara bahan pipa kudu cilik. Pipa saka bahan sing beda duwe permeabilitas udara sing beda. Yen pipa kanthi permeabilitas udara sing luwih gedhe dipilih, polusi ora bisa diilangi. Pipa stainless steel lan pipa tembaga luwih apik kanggo nyegah penetrasi lan korosi oksigen ing atmosfer. Nanging, amarga pipa stainless steel kurang aktif tinimbang pipa tembaga, pipa tembaga luwih aktif ngidini kelembapan ing atmosfer bisa nembus menyang permukaan njero. Mulane, nalika milih pipa kanggo pipa gas kemurnian dhuwur, pipa stainless steel kudu dadi pilihan pisanan.
(2) Ing lumahing utama saka materi pipe adsorbed lan duwe efek cilik ing nganalisa gas. Sawise pipa stainless steel diproses, jumlah gas tartamtu bakal ditahan ing kisi logam. Nalika gas kemurnian dhuwur liwat, bagean gas iki bakal mlebu aliran udara lan nyebabake polusi. Ing wektu sing padha, amarga adsorpsi lan analisis, logam ing permukaan njero pipa uga bakal ngasilake jumlah bubuk tartamtu, nyebabake polusi ing gas kemurnian dhuwur. Kanggo sistem pipa kanthi kemurnian ing ndhuwur 99.999% utawa tingkat ppb, 00Cr17Ni12Mo2Ti pipa baja tahan karat karbon rendah (316L) kudu digunakake.
(3) Ketahanan nyandhang pipa stainless steel luwih apik tinimbang pipa tembaga, lan bledug logam sing diasilake dening erosi aliran udara relatif kurang. Lokakarya produksi kanthi syarat kebersihan sing luwih dhuwur bisa nggunakake pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) utawa pipa baja tahan karat OCr18Ni9 (304), pipa tembaga ora bakal digunakake.
(4) Kanggo sistem pipa kanthi kemurnian gas ing ndhuwur 99,999% utawa tingkat ppb utawa ppt, utawa ing kamar sing resik kanthi tingkat kebersihan udara N1-N6 sing ditemtokake ing "Kode Desain Pabrik Bersih", pipa ultra-resik utawaPipa ultra-resik EPkudu digunakake. Ngresiki "tabung resik kanthi permukaan njero ultra-lancar".
(5) Sawetara sistem pipa gas khusus sing digunakake ing proses produksi yaiku gas korosif. Pipa ing sistem pipa kasebut kudu nggunakake pipa baja tahan karat minangka pipa. Yen ora, pipa bakal rusak amarga karat. Yen bintik karat dumadi ing permukaan, pipa baja sing mulus biasa utawa pipa baja sing dilas galvanis ora bakal digunakake.
(6) Prinsip, kabeh sambungan pipa gas kudu dilas. Wiwit welding pipa baja galvanis bakal ngrusak lapisan galvanis, pipa baja galvanis ora digunakake kanggo pipa ing kamar sing resik.
Nganggep faktor ing ndhuwur, pipa lan katup pipa gas sing dipilih ing proyek &7& kaya ing ngisor iki:
Pipa sistem nitrogen kemurnian dhuwur (PN2) digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok njero elektropoles, lan katup digawe saka klep bellow stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem nitrogen (N2) digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok batin sing dipoles, lan katup digawe saka katup bellow stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem hidrogen (PH2) kemurnian dhuwur digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok njero elektropoles, lan katup digawe saka klep bellow stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem oksigen kemurnian dhuwur (PO2) digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok njero sing dipoles, lan katup digawe saka klep bellow stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem Argon (Ar) digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok njero elektropoles, lan klep bellow stainless steel saka bahan sing padha digunakake.
Pipa sistem helium (He) digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok batin sing dipoles, lan katup digawe saka katup bellow stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem udara kompres garing sing resik (CDA) digawe saka pipa baja tahan karat OCr18Ni9 (304) kanthi tembok njero polesan, lan katup digawe saka klep bellow stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem udara tekan napas (BA) digawe saka pipa baja tahan karat OCr18Ni9 (304) kanthi tembok njero polesan, lan katup digawe saka katup bal stainless steel saka bahan sing padha.
Pipa sistem vakum proses (PV) digawe saka pipa UPVC, lan katup digawe saka katup kupu-kupu vakum sing digawe saka bahan sing padha.
Pipa sistem vakum pembersih (HV) digawe saka pipa UPVC, lan katup digawe saka katup kupu-kupu vakum sing digawe saka bahan sing padha.
Pipa sistem gas khusus kabeh digawe saka pipa baja tahan karat karbon rendah 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) kanthi tembok njero elektropoles, lan klep digawe saka klep bellow stainless steel saka bahan sing padha.
3 Konstruksi lan instalasi pipa
3.1 Bagean 8.3 saka "Kode Desain Bangunan Pabrik Bersih" nemtokake pranata ing ngisor iki kanggo sambungan pipa:
(1) Sambungan pipa kudu dilas, nanging pipa baja galvanis hot-dip kudu diulir. Bahan penyegel sambungan berulir kudu tundhuk karo syarat Artikel 8.3.3 saka spesifikasi iki
(2) Pipa stainless steel kudu disambungake kanthi welding argon busur lan welding butt utawa welding soket, nanging pipa gas kemurnian dhuwur kudu disambungake kanthi welding butt tanpa tandha ing tembok njero.
(3) Sambungan antarane pipa lan peralatan kudu tundhuk karo syarat sambungan saka peralatan. Nalika nggunakake sambungan selang, selang logam kudu digunakake
(4) Sambungan antarane pipa lan katup kudu tundhuk karo peraturan ing ngisor iki
① Bahan sealing sing nyambungake pipa lan katup gas kemurnian dhuwur kudu nggunakake gasket logam utawa ferrule ganda miturut syarat proses produksi lan karakteristik gas.
②Materi sealing ing sambungan Utas utawa flange kudu polytetrafluoroethylene.
3.2 Miturut syarat spesifikasi lan langkah-langkah teknis sing relevan, sambungan pipa gas kemurnian dhuwur kudu dilas sabisane. Welding butt langsung kudu nyingkiri nalika welding. Lengan pipa utawa sambungan rampung kudu digunakake. Lengan pipa kudu digawe saka bahan sing padha lan kelancaran lumahing njero minangka pipa. tingkat, sak welding, kanggo nyegah oksidasi saka bagean welding, gas protèktif murni kudu ngenalaken menyang pipe welding. Kanggo pipa stainless steel, welding argon busur kudu digunakake, lan gas argon saka kemurnian padha kudu ngenalaken menyang pipe. Sambungan Utas utawa sambungan Utas kudu digunakake. Nalika nyambungake flanges, ferrules kudu digunakake kanggo sambungan Utas. Kajaba kanggo pipa oksigen lan pipa hidrogen, sing kudu nggunakake gasket logam, pipa liyane kudu nggunakake gasket polytetrafluoroethylene. Aplikasi karet silikon cilik ing gasket uga bakal efektif. Ningkatake efek sealing. Tindakan sing padha kudu ditindakake nalika sambungan flange digawe.
Sadurunge karya instalasi diwiwiti, inspeksi visual sing rinci babagan pipa,kelengkapan, klep, lan liya-liyane kudu ditindakake. Tembok njero pipa baja tahan karat biasa kudu diasinake sadurunge dipasang. Pipa, fitting, katup, lan liya-liyane saka pipeline oksigen kudu dilarang banget saka lenga, lan kudu degreased strictly miturut syarat sing cocog sadurunge instalasi.
Sadurunge sistem dipasang lan digunakake, sistem pipa transmisi lan distribusi kudu diresiki kanthi gas kemurnian dhuwur sing dikirim. Iki ora mung ngunekke partikel bledug sing sengaja tiba ing sistem sak proses instalasi, nanging uga muter peran pangatusan ing sistem pipo, njabut bagean saka gas Kelembapan-ngemot digunakke dening tembok pipe lan malah materi pipe.
4. Test meksa pipeline lan acceptance
(1) Sawise sistem dipasang, pemeriksaan radiografi 100% saka pipa sing ngangkut cairan beracun ing pipa gas khusus kudu ditindakake, lan kualitase ora luwih murah tinimbang Level II. Pipa liyane kudu tundhuk inspeksi radiografi sampling, lan rasio inspeksi sampling ora kurang saka 5%, kualitas ora luwih murah tinimbang kelas III.
(2) Sawise ngliwati pemeriksaan sing ora ngrusak, tes tekanan kudu ditindakake. Kanggo njamin kekeringan lan kebersihan sistem pipa, tes tekanan hidrolik ora kudu ditindakake, nanging tes tekanan pneumatik kudu digunakake. Tes tekanan udara kudu ditindakake kanthi nggunakake nitrogen utawa udara tekan sing cocog karo tingkat kebersihan ruangan sing resik. Tekanan tes pipa kudu 1,15 kaping tekanan desain, lan tekanan tes pipa vakum kudu 0.2MPa. Sajrone tes, tekanan kudu mboko sithik lan alon-alon tambah. Nalika tekanan mundhak nganti 50% saka tekanan tes, yen ora ana kelainan utawa bocor sing ditemokake, terus nambah tekanan langkah demi langkah kanthi 10% saka tekanan tes, lan stabilake tekanan sajrone 3 menit ing saben level nganti tekanan tes. . Stabilisake tekanan sajrone 10 menit, banjur suda tekanan menyang tekanan desain. Wektu mandheg tekanan kudu ditemtokake miturut kabutuhan deteksi bocor. Agen foaming nduweni kualifikasi yen ora ana bocor.
(3) Sawise sistem vakum ngliwati tes tekanan, uga kudu nganakake tes gelar vakum 24 jam miturut dokumen desain, lan tingkat tekanan kudu ora luwih saka 5%.
(4) Tes bocor. Kanggo sistem pipa kelas ppb lan ppt, miturut spesifikasi sing cocog, ora ana bocor sing kudu dianggep minangka mumpuni, nanging tes jumlah bocor digunakake sajrone desain, yaiku, tes jumlah bocor ditindakake sawise tes sesak udara. Tekanan yaiku tekanan kerja, lan tekanan mandheg sajrone 24 jam. Rata-rata kebocoran saben jam kurang saka utawa padha karo 50ppm minangka kualifikasi. Pitungan kebocoran kaya ing ngisor iki:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Ing rumus:
Kebocoran jam (%)
P1-Tekanan absolut ing wiwitan tes (Pa)
P2-Tekanan absolut ing pungkasan tes (Pa)
T1-suhu mutlak ing wiwitan tes (K)
T2-suhu mutlak ing pungkasan test (K)
Wektu kirim: Dec-12-2023